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| 先端材料が半導体製造に関する用途拡大と性能向上を実現 |
ブリティッシュ・コロンビア州ノースバンクーバー, 2022年9月26日 - (JCN Newswire) - 半導体、産業、IoT、医療、電力市場向け光ファイバセンシングソリューションの設計・製造リーダーであるアクセロバント社は、本日、同社の蛍光体ベースの光ファイバセンサーに利用されている主要な光ルミネセンス材料、Kristonium(TM)について日本の特許7078942を授与されたと発表しました。Kristonium(TM)は、従来の蛍光体材料に代わるもので、光ファイバーセンサーの性能向上と、日本の大手半導体メーカーが取り組んでいる次世代の製造プロセスで要求されるような極端な温度で厳しい使用環境での温度制御を可能にします。
アクセロバント社の最高経営責任者（CEO）であるマイケル・ゴールドスタインは、「この特許は、光ファイバセンシング材料に関して根本となるブレークスルーであり、半導体製造において重要な精度管理に対応します。アクセロバント社の光ファイバーセンサーは、Kristonium(TM)を採用することで、ウェハーの温度制御を改善し、極高温および低温アプリケーションにおけるウェハーの均一性、チャンバー適合、プロセス制御をさらに進化させることができます。」と述べています。
アクセロバント社の日本の代理店であるケイエルブイ株式会社の光ファイバーセンサー担当シニアマネージャー、町田禎幸氏は、「これは、半導体製造装置業界が何年も前から必要としていたものです。アクセロバント社のKristonium(TM)は、日本の半導体装置メーカーが光ファイバーセンサーから得ようと努力している特性である高温性能、高精度、コスト動向を可能にします。」と述べました。
Kristonium(TM)は半導体製造の性能とコストに以下のような影響を与えます。
- より広い動作温度範囲：従来の光ファイバーセンサーは、摂氏250度以上、摂氏マイナス40度以下で故障し始めます。Kristonium(TM)は、-95度から+450度以上まで動作範囲を広げます。
- 全温度範囲において高精度を実現：Kristonium(TM)の測定精度は、全測定範囲において±0.10度であり、校正の必要はありません。これは、従来のセンサーが -95度で±1.0度、300度以上の長期暴露が必要なアプリケーションで±0.50～±2.0度の精度であることと比較すると、より高い精度を実現していることが分かります。
- 測定再現性の向上：Kristonium(TM)をベースとしたセンサーは、±0.005度の再現性を持ち、従来のセンサーと比較して10倍の再現性を実現しています。
- 真空やプロセス化学に不活性：Kristonium(TM)は、セラミックのように耐久性の高い材質であり、半導体真空アプリケーションや、プロセス化学への暴露、物理的耐久性を必要とするアプリケーションなど、極限の動作条件に対して不活性です。
半導体製造の歩留まりはウェハー上の精密なプロセス温度制御に大きく依存します。これまで、プラズマ製造条件下では、レガシー技術の限界により、±0.10度のシステム測定精度は不可能とされていました。この新材料は、これまで光ファイバーセンサーの環境では不可能と考えられていた高温・極低温レベルのプラズマ強化アプリケーションへの扉を開くものです。
「半導体の歩留まりとコストのダイナミクスは、プロセス温度をより正確に制御する能力に直接関係しています。Kristonium(TM)は、50年以上前の光ファイバー温度計の出現以来、極めて重要な材料の進歩であり、日本の最先端のチップメーカーが要求する厳しい製造環境での生産性の向上へ貢献します。」
アクセロバント社の光ファイバー温度センサーソリューションの詳細については、 www.accelovant.com をご覧ください。
アクセロバント社について
アクセロバント社は、ブリティッシュコロンビア州ノースバンクーバーに本社を置き、半導体、産業、IoT、医療、配電市場向けの光ファイバーセンシングソリューションの設計・製造におけるリーディングカンパニーです。アクセロバント社は幅広い動作温度範囲において極めて精密な測定能力を提供します。材料科学と設計の専門知識を組み合わせた垂直統合型のアプローチにより、歩留まりを向上させ、コストを削減する測定ソリューションと製品サポートを提供しています。詳細は、 www.accelovant.com でご覧いただけます。
ケイエルブイ株式会社について
ケイエルブイは、光源や光センサーを提供するTier1サプライヤーです。ケイエルブイは40年以上にわたり光を取り扱う専門商社として日本の様々な産業分野の製造業界にサービスを提供しています。また、日本では半導体に関する深い専門知識とサービスを提供することでも知られています。
Japan Contact:
Sadayuki Machida:
machida@klv.co.jp
PHONE: +81-3-3258-1238 FAX: +81-3-3258-5689 CELL: +81-80-1143-9110
KLV CO., LTD 1-1 Kanda-ogawa-machi, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0052 Japan
North America Contact:
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ソース： Accelovant
トピック: Press release summary
Source: Accelovant
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